ОТКАЧКА ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ С
ГАЗОПОГЛОТИТЕЛЯМИ
В ряде ЭВП для поглощения активных газов после отпаивания и в процессе
срока службы применяются распыляемые или нераспыляемые газопоглотители
(геттеры). Применение газопоглотителей во многом предопределило успех
при внедрении машинной откачки массовых типов электровакуумных приборов.
В настоящее время геттеры используются и в производстве крупногабаритных
ЭВП в металлокерамическом исполнении для решения таких задач, как
снижение рабочего давления и сокращение продолжительности откачки.
Механизм поглощения активных газов распыляемыми и нераспыляемыми
газопоглотителями идентичен и заключается в адсорбции, хемосорбции и
растворении молекул или атомов газа материалом геттера.
Распыляемые газопоглотители представляют собой
различные соединения иа основе бария: бати (20% Ва, 14% Al, СО % Ti),
альбанн (27,5% Ва, 24,5% Л1, 48% Ni), фоба (стальная трубочка,
заполненная барием).
Для процесса откачки ЭВП с распыляемыми газопоглотителями характерны
операции обезгаживаиия и распыления геттера. Обсзгаживание геттера
обычно проводят одновременно с обезгаживанием внутренней арматуры
прибора при температуре 800—900° С, а его распыление— в конце цикла
откачки или после отпаивания при 900—1200° С. Иногда газопоглотитель
распыляют в несколько приемов: в конце откачки, после отпаивания и в
конце процесса тренировки ЭВП, что позволяет получить более активное
геттерное зеркало на стекле колбы прибора.
Распыляемый газопоглотитель вводят в ЭВП в виде таблетки, закрепленной
на никелевой полочке или впрессованной в нее. При обезгаживании и
распылении геттера в стеклянных ЭВП полочку газопоглотителя разогревают
токами высокой частоты, а в приборах с металлической колбой и в
металлокерамических ЭВП — непосредственным пропусканием тока через
полочку, которая изготовляется из Мо в виде ленточки с углублениями для
геттера. Нормальное бариевое зеркало, полученное на внутренней
поверхности колбы, должно иметь равномерно черный или серебристо-черный
цвет с резко очерченными краями. Если распыление геттера проводить в
плохом вакууме, то барий окисляется и на напыленном зеркале появляются
радужные кольца. В случае перегрева газопоглотителя при распылении
бариевое зеркало получается рыхлым с размытыми краями.
К нераспыляемым газопоглотителям относятся различные активные металлы:
титан, цирконий, тории, тантал и т. п., а также их сплавы (например,
сплав Zr—А1 «Циаль»), Нераспыляемые газопоглотители изготовляются в виде
конструктивных элементов ЭВП или вводятся в приборы в виде компактных
деталей и геттерных блоков. В процессе откачки приборов нераспыляемые
газопоглотители обезгаживаются при температуре 600— 1100° С.