УСТРОЙСТВО ОСНОВНЫХ УЗЛОВ откачных постов

УСТРОЙСТВО ОСНОВНЫХ УЗЛОВ откачных постов

Вакуумно-технологические схемы постов

Вакуумные системы и их основные элементы рассмотрены в гл. VII, вакуумно-технологическая схема поста помимо этих вакуумных элементов включает в себя технологическую камеру, энергетическую систему поста, систему охлаждения и ряд других элементов, необходимых для обеспечения работоспособности оборудования.

На рис. 75 приведена упрощенная вакуумно-технологическая схема постов типа УП. Как видно из схемы, между высоковакуумным насосом 1 и фланцем на штенгеле откачиваемого прибора 7 имеется вакуумпровод, на котором размещены манометрические преобразователи 11, кран 13, вместо которого иногда встраивается устройство для измерения газового потока. Практически длина вакуумпровода близка к одному метру, причем одна часть его находится в камере и нагревается до 250—400° С, а другая часть, расположенная вне камеры, имеет температуру, близкую к комнатной.

С целью более качественного обезгаживания внутренней поверхности участка вакуумпровода, расположенного вне камеры, он прогревается дополнительными нагревателями 3 до 400—450° С, если уплотнители металлические, или до 150—200° С, если уплотнители из высоковакуумной термостойкой резины (ИРП-1345 и др.).

В постах типа ЛМ задача снижения газоотделения участка вакуумпровода между насосом и изделием решена более просто, конструктивно этот участок сокращен до нескольких сантиметров, поэтому его газовыделение незначительно по сравнению с газоотделеннем прибора.

Схемы многих откачных постов имеют так называемую байпасную систему откачки, которая обеспечивает возможность предварительной откачки изделия форва-куумной системой без выключения высоковакуумного наооса.

„Откачные посты, расположенные в помещениях II категории согласно требованиям промышленной санитарии, должны быть подсоединены к системе централизованного форвакуума. При соединении нескольких откачных постов с общей магистралью форвакуума необходимы устройства защиты от возможного прорыва атмосферы в работающую систему поста.

В блок защиты входят два быстродействующих крана, перекрывающих магистраль за несколько миллисекунд, и так называемая форвакуумная задержка, способная обеспечить время, необходимое для подачи сигнала от датчика и для закрывания крана; электротехнический блок, усиливающий сигнал датчика, питающий электромагнитные катушки быстродействующих кранов и позволяющий вручную открывать и закрывать краны при наладке блока защиты.

содержание .. 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 ..