Вакуумная техника необходима в металлургии, сельском хозяйстве, в
освоении космоса, авиации, медицине, транспортном хозяйстве, т. е.
буквально во всех отраслях народного хозяйства.
В данном учебнике основное внимание уделено производству ЭВП, поэтому
1Н1ды вакуумного оборудования также будут рассмотрены применительно к
производству таких приборов.
В условиях мелкосерийного и опытного производства (опытные заводы при
отраслевых НИИ) эксплуатируются стационарные откачные посты, линии
откачных постов, вакуумные камерные печи отжига, пайки и обезгаживания.
В условиях крупносерийного и массового производства, наряду с
вышеперечисленным оборудованием, работают полуавтоматы и автоматы
откачки, многопозиционные откачные посты, конвейерные печи отжига, пайки
и обезгаживания.
Для экспериментальных и исследовательских работ применяют лабораторное
оборудование и опытные образцы оборудования. Лабораторное оборудование
отличается от стационарного наличием устройств, необходимых для
исследовательских работ, но не обязательных в производственных условиях.
Откачное оборудование также может быть подразделено
на индивидуальные откачные посты, линии или группы постов, полуавтоматы
и автоматы откачки.
Кроме откачного оборудования в производстве изделии электронной техники
широко применяется:
вакуумное термическое оборудование для пайки, отжига, тренировки деталей
и узлов изделий;
напылительное оборудование для нанесения тонких пленок, применяемое в
производстве микроэлектронных приборов, фотоэлектронных усилителей,
интегральных схем, просветленной оптики и т. д.;
установки для вакуумной плавки, сварки, испарения II т. д.
С учетом перспективной потребности промышленности в оборудовании и
тенденций развития технологии изготовления ЭВП разрабатываются типажи и
параметрические ряды оборудования. Разработка типажей создает
минимальную технически и экономически обоснованную номенклатуру
оборудования на базе унифицированных элементов, обеспечивающего
потребности промышленности.
Типажи определяют размерный ряд (габариты технологических камер, размеры
обрабатываемых изделий и пр.) и основные технические параметры
оборудования.
Поскольку в промышленности действует очень много различных типов и видов
оборудования, в данном пара-трафе будут приведены общие виды и основные
характеристики только некоторых типов оборудования, выпускаемого в
настоящее время серийно и являющегося прототипом нового оборудования,
разрабатываемого в соответствии с требованиями повышения
производительности и качества изделий.