Откачные посты по видам обрабатываемых на них приборов подразделяют на:
'Посты для откачки крупногабаритных ЭВП; посты для откачки ЭВП больших и
средних размеров;
посты для откачки ЭВП средних и малых размеров; посты для откачки
отдельных типов приборов (ЛБВ, клистронов, магнетронов, генераторных
ламп и т. д.);
посты для откачки специальных изделий (газонаполненных, ртутных и т.
д.).
Откачные посты, разработанные в последние годы, рассчитаны на работу в
автоматизированных системах управления технологическим процессом
откачки.
В приводимой табл. 26 указаны основные характеристики постов,
разработанных в последние годы к осваиваемых в серийном производстве.
Как видно из таблицы, почти все посты рассчитаны на применение их в
АСУТП с управлением от ЭВМ или на управление от программаторов, или на
сочетание управления от ЭВМ и программирующих устройств. Все посты имеют
возможность перевода процесса откачки на ручное управление при
наладочных работах или при отказах устройств управляющего комплекса.
Посты для откачки крупногабаритных ЭВП
Для откачки изделий размерами по высоте более
1000 мм и диаметром более 500 мм, вместо ранее изготовляемых постов
серии В-1, B-II и А, разработаны новые унифицированные посты УП-2, УП-3
и УП-4, в которых незначительно увеличены размеры рабочей зоны
технологической камеры, модернизирована вакуумная система и практически
полностью изменена электротехническая часть.
Характерной особенностью этой группы постов является конструкция
технологической камеры, обеспечивающая удобство постановки и съема
откачиваемых крупногабаритных изделии, возможность механизации этой
операции и большая надежность системы нагрева.
Разработка и освоение в серийном производстве постов серии УП в основном
обусловлена необходимостью создания оборудования, способного работать в
АСУТП с управлением от ЭВМ или других устройств автоматизации.
Цилиндрическая технологическая камера разрезана по вертикали на две
равные части. Одна половина камеры устанавливается неподвижно и на ней
монтируются вакуумная система, технологические вводы и другие элементы
поста. Вторая половина камеры подвешена на шарнирах и может открываться,
создавая условия для постановки, обслуживания и снятия откачиваемого
изделия (рис. 60).
Высоковакуумный агрегат (рис 67) расположен на опорном каркасе, который
одновременно служит и для крепления к нему неподвижной половины камеры
Форвакуумная система рассчитана на работу от централизованной
форвакуумной системы (ЦФС) и оснащена блоками защиты высоковакуумной
системы и рабочего объема камеры от возможного прорыва атмосферы в
период откачки изделия.
Электротехническая часть поста выполнена в виде двух стоек, одна из
которых содержит в себе элементы управления и питания технологической
частью поста, а во второй смонтированы устройства связи с управляющим
комплексом или локальные устройства автоматического программирования
основных операций цикла откачки, Посты серии УП могут эксплуатироваться
и линии (рис. 68) или отдельно
Посты для откачки ЭВП больших и средних размеров
Для откачки или изделий высотой до 800 мм и
диаметром до 400 мм разработаны посты типов (ЭММ2-300-012, OMM2-300-0I6
(рис. 69, 70), ХЕМ-2-300, УВА-1 и др.
Технологические камеры этой группы постов выполнены в виде закрытого
сверху цилиндра Для постановки и съема изделий камера посредством
механизма подъема поднимается вверх.
Высоковакуумная и форвакуумная системы расположены под плитой стола, на
котором установлена технологическая камера.
В последнее время конструкция постов переработана с
учетом эксплуатации в АСУТП с управлением от ЭВМ или других устройств
автоматизации технологического процесса.
Электротехническая часть постов в основном аналогична электротехнической
части постов серии УП.
Пост СЖМ1-433-002 в соответствии с размерами
технологической камеры является промежуточным между первой и второй
группой.
Посты для откачки ЭВП средних и малых размеров. Для откачки изделий
высотой и диаметром до 450 мм разработана группа постов, в которую
входят: УП-1А, УП-1Б, ЛМ-5700 (рис. 71), АЗЗО-82, А393-33, A333-39 » Др.
Посты этой группы по конструкции наиболее разнообразны, занимают
небольшую площадь, так ка^. вакуумная система расположена под плитой, на
которой установлена технологическая камера. У некоторых типов постов их
электротехническая часть размещена в одной стойке.
Конструкция технологических камер у большинства
постов этой группы цилиндрическая.
Более мелкие изделия откачиваются на постах этой группы, но при этом
одновременно откачивается по несколько изделии одновременно.
Пост камерной откачки. Пост камерной откачки
типа 600Э-888 в отличие от постов, рассмотренных ранее, где откачка
изделий осуществляется через штенгель, является камерным (бесштенгельным)
(рис. 72). Посты камерной откачки наиболее выгодно применять для
клистронов и других типов изделий, в которых удаление газов через
штенгель затруднено в связи с малым сечением внутренних каналов прибора.
В этом случае расчлененное на две части изделие размещено в
высоко-вакуумной камере поста и удаление газов из прибора осуществляется
непосредственно в камеру поста, а не через штенгель.
Откачные машины
В условиях крупносерийного и массового производства ЭВП целесообразно
применять многопозиционное откачное оборудование, основными видами
которого являются карусельные и конвейерные откачные машины.
Полуавтомат откачки ЭВП представляет собой машину с периодически
вращающейся каруселью, на которой расположены откачные гнезда,
соединенные с вакуумной системой откачки прибора.
Для полуавтоматов откачки характерно наличие корпуса (или станины),
карусели с гнездами, привода карусели и целевых механизмов полуавтомата,
фиксаторов карусели, подъемников высокочастотных индукторов, вакуумной
системы, туннельной печи, системы индукционного нагрева ЭВП,
энергетической системы (вода, газы, электропитание).
Вакуумные системы карусельных машин могут быть выполнены либо
независимыми, когда
каждая позиция имеет свою, независимую от других позиций, вакуумную
систему, либо зависимыми, когда все или несколько откачных позиций имеют
общую систему предварительной откачки (рис. 73). В большинстве машин
карусельного типа откачка приборов производится диффузионными
паромасляными насосами, присоединенными к откачному гнезду
непосредственно или реже через промежуточный золотник. Форвакуумные
насосы чаще всего устанавливаются неподвижно и обслуживают одну или
несколько позиций карусели. Для
осуществления независимой откачки каждого гнезда
карусели применяют многокамерные форвакуумные насосы (например,
десятикамерные). Коммутация неподвижных форвакуумных насосов с
диффузионными насосами осуществляется через золотник или непосредственно
через трубопроводы, если диффузионные насосы также установлены
неподвижно.
Вакуумная схема полуавтомата откачки с вращающимися на карусели
диффузионными насосами показана па рис. 74. Трудность обеспечения
герметичности золотников в области высокого вакуума и возможность
попадания смазки (необходимой для работы золотника) в объем
откачиваемого прибора определили предпочтение к машинам с золотником в
форвакуумной части системы.
Для откачки некоторых крупногабаритных прибороп н, в частности,
электроннолучевых трубок применяют беззолотниковые конвейерные машины,
позволяющие получать в приборе высокий и сверхвысокий вакуум.
Конвейерная машина состоит из передвижных позиции, в которых размещена
система откачки с форвакуумными и высоковакуумным и насосами.
Откачка приборов на карусельных и конвейерных машинах экономически
значительно выгоднее, чем на стационарных откачных постах, но может быть
применена только для приборов с небольшим временем откачки — до
нескольких часов.
На полуавтоматы откачки создан типаж «Полуавтоматы для откачки
электровакуумных приборов», в который входит полуавтоматическое
оборудование карусельного типа для откачки массовых типов приборов (СМП,
ППУЛ, ПУЛ, ГРП, ГП) с диаметром колб 10—80 мм и высотой 30—130 мм.
В настоящее время в промышленности работает три типа полуавтоматов,
выпускаемых серийно:
EI1023-009 для откачки миниатюрных ламп;
И023-018 для откачки долговечных ламп;
И023-013 для откачки среднегенераторных ламп.
Кроме того, эксплуатируются полуавтоматы, выпущенные небольшими
партиями:
И023-15 для откачки газотронов;
И023-16 для откачки тиратронов;
11023-021, И023-26, И023-0001, 11023-0003,
11023-0007, 11023-0015 для откачки различных генераторных приборов;
И023-0016 для откачки долговечных ламп.
Типаж предусматривает замену вышеперечисленных машин тремя типами
базовых конструкций полуавтоматов с основными параметрами, указанными в
табл. 28.