содержание   ..  50  51  52  53  54  55  56  57  58  59  60  ..

УСТРОЙСТВО ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ

Для создания требуемой степени разрежения в экспериментальных и промышленных вакуумных установках применяют самые разнообразные вакуумные насосы. Одним из первых вакуумных насосов был поршневой насос Герике, построенный нм в 1650 г. Дальнейшее развитие устройств для получения вакуума связано с именем немецкого ученого Гедэ, который впервые предложил конструкции механического вращательного (1805 г.), молекулярного (1912 г.) и пароструйного (1915 г.) насосов. Первые конструкции насосов поверхностного действия появились в 1950-х годах.
 

КЛАССИФИКАЦИЯ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ

Вакуумные насосы можно классифицировать по сле­дующим признакам: назначению, принципу действия, конструкции, характеру воздействия па откачиваемые газы и диапазону рабочих давлений.

По назначению насосы можно подразделить условно на форвакуумные (Я=1,01-10⁵—10^-2 Па), высоковаку­умные (Р=10^-2—10-⁶ Па) и сверхвысоковакуумные (Р= 10^-6—10^-10 Па и ниже).

В зависимости от характера воздействия на откачи­ваемые газы различают насосы объемного действия, ко­торые удаляют из откачиваемого объекта газ путем его сжатия в рабочем пространстве насоса и выталкивания в окружающую атмосферу или подачи в следующую ступень откачки, и поверхностного действия, которые удаляют из откачиваемого объекта газ путем связыва­ния его на рабочих поверхностях насоса благодаря про­цессам адсорбции, конденсации, ионизации, диффузии и образования химических соединений. Общая класси­фикация современных вакуумных насосов представлена в табл. 9.

содержание   ..  50  51  52  53  54  55  56  57  58  59  60  ..