ТРЕБОВАНИЯ К ГЕРМЕТИЧНОСТИ ВАКУУМНОГО
ОБОРУДОВАНИЯ И ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ
Достижение паспортного значения предельного или рабочего давления
вакуумного оборудования и обеспечение работоспособности различных
электровакуумных приборов при эксплуатации и после складского хранения в
значительной степени зависит от их герметичности.
Герметичность — это свойство отдельных элементов вакуумного оборудования
и ЭВП, характеризующее их способность не пропускать во внутреннюю
полость газы, пары или жидкости нз окружающей среды В вакуумной технике
чаще всего имеют дело с натеканием газов или паров в вакуумный объем и
поэтому говорят о вакуумной герметичности Степень вакуумной
герметичности какого-либо элемента ЭВП или оборудования характеризуется
величиной натекания, т. е количеством газа, поступающего в его объем в
единицу времени при стандартных внешних условиях- натекающий газ —
воздух, давление воздуха — 1,01 • 100000 Па, температура воздуха 20° С
Газы натекают внутрь вакуумного объема через места нарушения
герметичности, называемые течами, причем любой объем может иметь одну
или несколько течей Размер течи оценивается величиной натекания газа при
стандартных внешних условиях и определяется
только в процессе испытания объема на вакуумную
герметичность. Целью контроля на вакуумную герметичность является
определение общего натекания объема через все имеющиеся течи, нахождение
отдельных течей, а при необходимости и оценка величины каждой течи.
На практике условия контроля на герметичность часто не совпадают со
стандартными внешними условиями: вместо воздуха оценивается натекание
различных пробных газов (гелия, аргона, водорода), контроль
осуществляется при различных давлениях пробного газа и т. п.
Методы контроля герметичности отпаянных ЭВП
В основу этой группы методов положена статическая оценка герметичности
отпаянных ЭВП и замкнутых объемов, т. е. регистрация скорости изменения
давления в замкнутом объеме с помощью различных средств измерения
давления.
Методы контроля герметичности отпаянных приборов и расчетные формулы для
определения чувствительности Ум,,,, при различных режимах испытания
приведены в табл. 31. В зависимости от способа оценки изменения давления
в отпаянном приборе различают два режима испытания: режим непрерывного
измерения и режим
периодического измерения, или режим накопления, который, в свою очередь,
может осуществляться либо без опрессовки (Л), либо с опрессовкой (Б)
контролируемого прибора в заданной среде. В режиме периодического
измерения давление в приборе оценивается по максимальному значению
ионного пли разрядного тока измерительного устройства при включении его
в рабочий режим.