Размеры рабочей зоны технологической камеры откачных постов определяются
габаритами откачиваемых изделий, а остальные конструктивные особенности
— технологическими требованиями обработки изделий: температурой,
расположением мест соединения с вакуумной системой, энергетических
вводов, вакуумных датчиков и т. д.
Конструкция камеры должна обеспечивать удобство загрузкп и выгрузки
изделий, с этой целью камера или перемещается, или раскрывается, иногда
сама камера остается неподвижной, а перемещается ее днище или крышка.
Для создания заданной температуры в технологической камере в последнее
время применяют электронагреватели и только в серийном и массовом
производстве стеклянных ЭВП эксплуатируются печи с газовым нагревом.
Электрический нагрев позволяет достаточно просто регулировать
температуру, является наиболее дешевым и безопасным источником тепла. В
камерах с форвакуум ной средой 1,33 10-1 Па и выше и рабочей
температурой не более 800° С в качестве электронагревателя можно
применять сплавы высокого сопротивления, нихром,-константан и др., но
напряжение на нагревателях (внутри камеры) должно быть менее 100 В; при
более высоком напряжении возможны электрические пробои между
токоведущими частями.
В камерах с высоковакуумной средой 1,33*10-2 Па и ниже возможно
применение нагревателей из тугоплавких материалов: молибдена, вольфрама
и др., в этом случае максимальная температура в камере ограничивается
допустимой для данного материала. Иногда в качестве нагревателей
применяют кварцевые иодидные лампы или нагреватели типа ТЭН. В условиях
высокого
вакуума и высоких температур в камере следует
учитывать распыление материалов нагревателей и экранов и осаждение их на
поверхность оболочки прибора, что приводит к снижению электрической
прочности изоляционных материалов.
Для снижения электрических потерь между нагревателями и оболочкой камеры
размещается теплоизоляция. В камерах с вакуумной средой наиболее
распространено применение защитных металлических экранов, количество
которых определяется расчетным путем, а материал выбирается, исходя из
прочности его при максимальных температурах. При температурах до 800° С
можно ограничиться 2—4 экранами, при температурах 2000— 2500° С
количество их может возрасти до 10—20.
В камерах с газовой и воздушной средой в качестве теплоизоляции
применяют легковесный кирпич, шамот, асбест и др.
Внешнюю оболочку камеры для снижения температуры охлаждают проточной
водой. С этой целью корпус камеры делают из двух оболочек, между
которыми пропускают воду, или к оболочке приваривают трубы, по которым
пропускается вода. На неподвижных узлах камеры обычно размещают фланцы
подсоединения ва-куумпроводов, манометрических датчиков, токоведущих и
термопарных вводов.
На фотографиях откачных постов, приведенных ранее, можно увидеть
наиболее распространенные конструкции камер.
Пульт управления и питания откачных постов
Пульт управления и питания объединяет в единую конструкцию отдельные
электрические и радиотехнические устройства управления всеми элементами
оборудования, осуществляющие измерение, регулирование и контроль
технических параметров.
При разработке пульта электрического питания н управления учитываются
применяемые средства откачки, система нагрева и требования
технологического режима обработки изделия. В соответствии с этим пульт
управления и электрического питания состоит из следующих основных
блоков:
блока управления вакуумной системой, в который входят коммутационная и
регулирующая аппаратура и элементы сигнализации, часто на передней
панели блока наносится мнемосхема вакуумной части, что облегчает
ориентацию оператора,
блока питания системы нагрева технологической
камеры с трансформаторами и аппаратурой регулирования, применяют
автоматические системы регулирования, обеспечивающие определенную
скорость подъема температуры на изделии, поддержание заданной
температуры в течение всего времени обезгаживаиия и определенной
скорости снижения температуры по окончании цикла откачки,
Кроме того, в пульты управления монтируются регистрирующая и
измерительная аппаратура, устройства сигнализации и т д
В автоматизированных системах управления в пульт управления поста
монтируются устройства связи с ЭВМ или блоками программного управления
(рис 76).
Опыт эксплуатации управляющих систем показал возможность встраивать
целый ряд элементов управляющего комплекса в стойку системы управления
линии постов, а в пульты управления самого поста включать только самые
необходимые элементы управляющего комплекса.