Особенности откачки электровакуумных приборов в
металлокерамическом и металлостеклянном исполнении
Большинство металлостеклянных ЭВП присоединяется к вакуумной системе
откачных постов посредством стеклянного штенгеля, который припаивается к
стеклянной гребенке поста с помощью газовой горелки. Приборы со
стеклянными штенгелями присоединяются к откачным гнездам карусельных
машин с помощью различных механизмов уплотнения с ручным, механическим
или автоматическим приводом, представляющих собой разновидности
грибкового уплотнения.
Металлокерамические приборы и некоторые типы металлостеклянных ЭВП,
имеющие металлические (медь, алюминий) штенгели, присоединяются к
вакуумной системе поста посредством фланцевого соединения с
металлическими уплотнителями или уплотнением развальцованной трубки
штенгеля под действием винтового или рычажного прижимного устройства.
На откачных машинах конвейерного типа присоединение приборов к вакуумной
системе производится так же, как на откачных постах, поскольку каждая
позиция такой машины представляет собой по существу индивидуальный
откачной пост.
Технологические режимы откачки однотипных ЭВП в металлостеклянном и
металлокерамическом исполнении практически одинаковы, за исключением
максимальном температуры обезгаживаиия оболочек и способов герметизации
приборов. Максимальная температура обезгажииашгл стеклянной оболочки
зависит от темпе-ратурнон зоны размягчения аекла и давления снаружи
откачиваемого прибора (в печи). Для большинства марок стекол,
применяемых для изготовления колб ЭВП зона размягчения 500—600° С.
Исключение составляет лишь молибденовое стекло марки С48-3, для которого
эта зона расположена выше 800° С. В соответствии с этим максимальная
температура обезгаживания большинства ЭВП со стеклянными оболочками в
печах с газовым наполнением не превышает 400° С, а в вакуумных печах
может быть увеличена до 450—500° С.
Особое место занимают приемно-усилительные лампы с металлической колбой,
в которых путем принудительного (например, воздушного) охлаждения
металлостеклянной ножки температура обезгаживания колбы может быть
увеличена до 1000—1100° С,
Максимальная температура обезгаживания оболочки для большинства ЭВП в
металлокерамическом исполнении не превышает 600—650° С и ограничивается
высокой скоростью испарения отдельных конструкционных материалов и
припоев.