Откачкой называется процесс удаления газов из объема ЭВП и снижения
скорости их выделения из внутренних элементов прибора, включая и
оболочку, до величины меньшей или равной скорости поглощения этих газов
обезгаженными внутренними элементами или геттерами. При этом, если
процесс удаления газов из объема ЭВП не вызывает особых затруднении и
длится (в зависимости от его объема) от десятков секунд до десятков
минут, то Процесс снижения скорости выделений газов из внутренних
элементов прибора требует длительного их обезгаживаиия при высокой
температуре. Состав и количество выделяющихся при обезгаживаиии ЭВП
газов зависит от материалов, использованных для изготовления различных
деталей приборов, от размеров этих деталей и температуры их
обезгаживаиия.
Конечной целью откачки ЭВП является получение низких рабочих и
остаточных давлений газов в объеме прибора. В большинстве современных
ЭВП рабочее давление составляет 0,1—10-6 Па. Столь низкие
давления l рабочем пространстве приборов необходимы для обеспечения их
нормальной работы, т. е.:
предотвращения окисления электродов и отравления активного покрытия
катодов (особенно оксидных);
достижения большой длины свободного пробега электронов, чтобы при полете
электронов от катода к аноду не было их рассеивания под действием
соударений с молекулами газа;
еннжения интенсивности ионной бомбардировки отрицательно заряженных
электродов, вызывающей появление обратных токов с этих электродов или
разрушение активного покрытия катода.
Состав остаточных газов в отпаянных приборах существенно влияет на их
работоспособность и долговечность. Особенно критичны к составу
остаточных газов ЭВП с оксидными катодами как вследствие взаимодействия
активных газов с оксидным покрытием, так и ионной бомбардировки катода
положительными ионами, образованными в результате ионизации остаточных
газов потоком электронов от катода к аноду.
Технологические процессы откачки большинства ЭВП практически идентичны.
Наблюдаемые на практике некоторые различия в процессах откачки
обусловлены конструктивными особенностями приборов, характером их
производства и применяемым откачным оборудованием. Так, в условиях
единичного и мелкосерийного производства откачку ЭВП проводят на
однопозиционных или многопозиционных откачных постах, а в условиях
массового и крупносерийного производства на откачных полуавтоматах,
автоматах или машинах конвейерного типа. Некоторое влияние на процесс
откачки оказывает тип катода в приборе (оксидный, металлический и т. п.)
и материал оболочки прибора (стекло, металл).
Специфические особенности имеет так называемая бес-штенгельная откачка
ЭВП, которая в отличие от штен-гельной проводится в специальном
высоковакуумной камере без применения штенгеля.