|
|
содержание .. 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 ..
Магниторазрядные насосы катодов 1 благодаря адсорбции, растворению и
образованию химических соединений; перечисленных выше процессов, то инертные газы откачиваются преимущественно за счет внедрения ионов в материал катода н, частично, вследствие внедрения нейтрализованных на катоде атомов инертных газов в титановую пленку, напыленную на анод. В соответствии с этим работа диодного насоса наряду с откачивающим действием сопровождается выделением инертных газов при распылении поверхностных слоев катода, обогащенных этими газами.
воздуху Отличительной особенностью этих насосов {рис. 46, б) является наличие дополнительных электродов 3, находящихся под промежуточным потенциалом по сравнению с потенциалами катода — UK и анода + Ua, и ячеистая форма катода. При соответствующем подборе размеров и формы ячеек катода часть распыляемого катодного материала осаждается на поверхность дополнительного электрода. Ионы откачиваемого газа, которые попадают па дополнительный электрод через ячейки катода, не обладают достаточной энергией для распыления напыленной тленки, и поэтому инертные газы, оказавшиеся «а этой поверхности, не будут выделяться в процессе работы насоса. В отношении откачивающего действия по активным газам триодные магниторазрядные насосы не имеют преимуществ перед диодными. Конструктивно насосы триодного типа отличаются от диодных большей высотой разрядной ячейки, что требует использования магнитов с большей магнитодвижущей силой. Диапазон рабочих давлений магниторазрядных насосов 1,33-— 10-7 Па. Вдей ствительности этот диапазон значительно уже, так как при высоких давлениях, вплоть до 4*10~3 Па, эффективность работы насоса очень низка. Это связано с тем, что при работе насоса в области давлений 1,33—4-10-3 Па в каждой разрядной ячейке выделяется значительная мощность (до нескольких ватт), которая в условиях неудовлетворительного естественного охлаждения электродов в вакууме .приводит к их перегреву и интенсивному выделению поглощенных газов. Для улучшения рабочих характеристик магниторазрядного насоса вводят принудительное водяное охлаждение катодов или анода, что позволяет расширить верхний предел устойчивой работы с 4-10~3 до 1,33-10-1 Па, а давление запуска увеличить до 13,3 Па. Отечественная промышленность выпускает серии магнитораэрядных насосов диодного типа без охлаждения электродов (НЭМ) и с водяным охлаждением анода (НОРД), а также насосы триодного типа с принудительным охлаждением электродов (Триоп) и без охлаждения электродов (МаРТ). На базе насосов серии НЭМ. сконструированы агрегаты ЭРА (ЭРА-30-2, РА-100-2 и ЭРА-300-2). В качестве средств запуска магниторазрядного насоса в этих агрегатах используются два адсорбционных цеолитовых насоса ЦВН-1-2.
Триодный магниторазрядный насос Трион-150 имеет
максимальную скорость откачивающею действия по воздуху (300 л/с) при
охлаждении электродов (анода и дополнительных электродов) жидким азотом.
При охлаждении электродов водой скорость откачивающего действия
понижается до 130 л/с. Предельное давление насоса 10~9 Па (при
охлаждении электродов жидким азотом).
содержание .. 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 ..
|
|
|