Технологическая камера

Технологическая камера откачных постов

Размеры рабочей зоны технологической камеры откачных постов определяются габаритами откачиваемых изделий, а остальные конструктивные особенности — технологическими требованиями обработки изделий: температурой, расположением мест соединения с вакуумной системой, энергетических вводов, вакуумных датчиков и т. д.

Конструкция камеры должна обеспечивать удобство загрузкп и выгрузки изделий, с этой целью камера или перемещается, или раскрывается, иногда сама камера остается неподвижной, а перемещается ее днище или крышка.

Для создания заданной температуры в технологической камере в последнее время применяют электронагреватели и только в серийном и массовом производстве стеклянных ЭВП эксплуатируются печи с газовым нагревом.

Электрический нагрев позволяет достаточно просто регулировать температуру, является наиболее дешевым и безопасным источником тепла. В камерах с форвакуум ной средой 1,33 10-1 Па и выше и рабочей температурой не более 800° С в качестве электронагревателя можно применять сплавы высокого сопротивления, нихром,-константан и др., но напряжение на нагревателях (внутри камеры) должно быть менее 100 В; при более высоком напряжении возможны электрические пробои между токоведущими частями.

В камерах с высоковакуумной средой 1,33*10-2 Па и ниже возможно применение нагревателей из тугоплавких материалов: молибдена, вольфрама и др., в этом случае максимальная температура в камере ограничивается допустимой для данного материала. Иногда в качестве нагревателей применяют кварцевые иодидные лампы или нагреватели типа ТЭН. В условиях высокого

вакуума и высоких температур в камере следует учитывать распыление материалов нагревателей и экранов и осаждение их на поверхность оболочки прибора, что приводит к снижению электрической прочности изоляционных материалов.

Для снижения электрических потерь между нагревателями и оболочкой камеры размещается теплоизоляция. В камерах с вакуумной средой наиболее распространено применение защитных металлических экранов, количество которых определяется расчетным путем, а материал выбирается, исходя из прочности его при максимальных температурах. При температурах до 800° С можно ограничиться 2—4 экранами, при температурах 2000— 2500° С количество их может возрасти до 10—20.

В камерах с газовой и воздушной средой в качестве теплоизоляции применяют легковесный кирпич, шамот, асбест и др.

Внешнюю оболочку камеры для снижения температуры охлаждают проточной водой. С этой целью корпус камеры делают из двух оболочек, между которыми пропускают воду, или к оболочке приваривают трубы, по которым пропускается вода. На неподвижных узлах камеры обычно размещают фланцы подсоединения ва-куумпроводов, манометрических датчиков, токоведущих и термопарных вводов.

На фотографиях откачных постов, приведенных ранее, можно увидеть наиболее распространенные конструкции камер.

Пульт управления и питания откачных постов

Пульт управления и питания объединяет в единую конструкцию отдельные электрические и радиотехнические устройства управления всеми элементами оборудования, осуществляющие измерение, регулирование и контроль технических параметров.

При разработке пульта электрического питания н управления учитываются применяемые средства откачки, система нагрева и требования технологического режима обработки изделия. В соответствии с этим пульт управления и электрического питания состоит из следующих основных блоков:

блока управления вакуумной системой, в который входят коммутационная и регулирующая аппаратура и элементы сигнализации, часто на передней панели блока наносится мнемосхема вакуумной части, что облегчает ориентацию оператора,

блока питания системы нагрева технологической камеры с трансформаторами и аппаратурой регулирования, применяют автоматические системы регулирования, обеспечивающие определенную скорость подъема температуры на изделии, поддержание заданной температуры в течение всего времени обезгаживаиия и определенной скорости снижения температуры по окончании цикла откачки,

блоков электрической тренировки прибора (катода, сеток, анода), обеспечивающих подачу на электроды прибора необходимого напряжения

Кроме того, в пульты управления монтируются регистрирующая и измерительная аппаратура, устройства сигнализации и т д

В автоматизированных системах управления в пульт управления поста монтируются устройства связи с ЭВМ или блоками программного управления (рис 76).

Опыт эксплуатации управляющих систем показал возможность встраивать целый ряд элементов управляющего комплекса в стойку системы управления линии постов, а в пульты управления самого поста включать только самые необходимые элементы управляющего комплекса.

содержание .. 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 ..