содержание   ..   80  81  82  83  84  85  86  87  88  89  ..

Бесштенгельная и камерная откачка электровакуумных приборов

С целью обеспечения долговечности изготовляемых приборов процесс откачки стремятся вести при давлении в объеме прибора не выше 10^-3—10^-4 Па, что особенно важно для приборов с оксидными катодами. Кар известно, при откачке ЭВП через штенгель возможности уменьшения давления в объеме прибора ограничены недостаточно высокой скоростью удаления газов вследствие малой проводимости штенгеля, а в ряде случаев и из-за малой проводимости внутренних коммуникаций самого прибора.

Если скорость удаления газов из объема прибора ограничивается малой проводимостью штенгеля, то снижение давления в рабочем объеме достигается либо увеличением проводимости штенгеля, либо проведением процесса откачки без применения штенгеля (бесштенгельная откачка).

При малой проводимости внутренних коммуникаций прибора бесштенгельная откачка не позволяет существенно понизить давление в объеме прибора. В этом случае необходимо применить так называемую камерную откачку, при которой откачиваемый прибор расчленяется на две или более части таким образом, чтобы обеспечить максимальную скорость удаления газов из его внутренних полостей. В конце цикла откачки прибор в местах разъема сочленяют (герметизируют). Процесс камерной откачки более сложен, так как при сочленении

отдельных частей прибора необходимо сохранить заданные геометрические размеры его элементов и их относительное расположение.

При бесштенгельной откачке процесс герметизации практически не влияет на геометрию прибора.

К достоинствам камерной откачки следует отнестн возможность расчленения прибора таким образом, что катод на время откачки будет изолирован от рабочего пространства прибора (например, при помощи заслонки). Такое расчленение прибора и раздельная обработка катода позволяют устранить напыление катодных материалов на рабочие поверхности прибора и обеспечить совмещенный режим обезгаживаиия катода и оболочки прибора независимо от их конструктивных особенностей.

Схемы бесштенгельной и камерной откачки ЭВП показаны на рис. 61, а и б.

Технологический процесс бесштенгельной и камерной откачки ЭВП идентичен процессу их штенгельпоп откачки за исключением этапа герметизации.

Поскольку в обоих случаях откачка прибора осуществляется без применения штенгеля, то иногда процессы камерной и бесштенгельной откачки условно объединяются одним общим названием — бесштенгсльная откачка.

содержание   ..   80  81  82  83  84  85  86  87  88  89  ..