Величина газоотделения приборов на различных этапах
откачки оценивается с помощью двух параметров: динамического давления Рл
в вакуумной системе поста н скорости газоотделения, замеряемой
динамическими Qn или статическими QcT методами.
Для регистрации Рд вакуумные системы откачных постов (рнс. 59)
оснащаются различными датчиками общего давления* ионизационными (ЛМ-2,
МИ-12-8), тепловыми (ЛТ-2, ЛТ-4М, МТ-6) и другими типами манометрических
преобразователей. При максимальной температуре обезгаживаиия давление в
вакуумной системе поста практически всегда меньше давления в
откачиваемом приборе Лф вследствие сопротивления, оказываемого потоку
газа штенгелем, внутренними коммуникациями прибора, вакуумпроводом поста
между манометрическим преобразователем и штенгелем прибора, а также
из-за разности температур газов в объеме откачиваемого прибора и в
манометрическом преобразователе
В зависимости от конструктивных особенностей прибора и вакуумной системы
поста величины Яд и ЯПр могут отличаться во много раз (до 2—3 порядков),
но пропорциональность между ними сохраняется практически на всех этапах
откачки однотипных ЭВП. Эта пропорциональность может быть однажды
установлена расчетным’ путем для каждого типа ЭВП, и на основе
найденного соотношения величина Ря легко пересчитывается на давление в
объеме прибора Знание величины РПр особенно важно при откачке приборов с
оксидными катодами, которые критичны к давлению различных газов в объеме
прибора.
Для измерения потока газоотделения прибора динамическим методом
используются калиброванные сопротивления: капилляр, диафрагма, заслонка
и пневматический кран, вводимые в вакуумную систему откачного поста
(рис. 60, а, б, в, г). Из всех перечне пенных устройств наилучшими
являются заслонка с ручным или электрическим приводом и пневматический
кран, так как они позволяют менять величину сопротивления на различных
этапах откачки либо путем изменения угла закрытия заслонки (рис. 60, в),
либо путем измерения проходного сечения клапана (рис. 60, г). На первом
этапе откачки поток газоотделения прибора максимален и устройство для
измерения должно иметь максимально возможную проводимость с тем, чтобы
давление в объеме прибора от введения этого устройства увеличивалось
незначительно.