ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ

  Главная       Учебники - Техника      Откачник-вакуумщик (Ф. Г. Закиров, Е А. Николаев)

 поиск по сайту     

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

содержание   ..  60  61  62  63  64  65  66  67  68  69  70  ..

 

 

ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ

Турбомолекулярные насосы представляют собой особую группу механических сверхвысоковакуумных насосов объемного действия. В отличие от вращательных насосов с масляным уплотнением, откачивающее действие которых основано на сжатии определенной порции газа в изменяющемся рабочем объеме насоса, турбомолекулярные насосы откачивают газы в результате сообщения их молекулам направленного перемещения быстровращающимися поверхностями ротора. Необходимая степень сжатия газов обеспечивается конструктивным исполнением насоса в виде многоступенчатого осевого компрессора. Устройство турбомолекулярного насоса показано на рис. 42.

В корпусе насоса с жестко закрепленными статорными дисками вращается ротор, на котором, в свою очередь, жестко закреплены роторные диски (рис. 42, о). Статорные и роторные диски имеют косые прорези (рис. 42, б), причем прорези статорных дисков являются зеркальным отражением прорезей роторных дисков. Количество прорезей в дисках может составлять 20—50, что

обеспечивает достаточно высокую скорость откачивающего действия насоса. Зазоры между роторными и статорными дисками, а также радиальные зазоры составляют около 1 мм.

Откачивающее действие турбомолекулярного насоса наиболее эффективно при молекулярном режиме течения газа через рабочие зазоры и поэтому нормальная его работа возможна только с насосом предварительного разрежения.

 

 

 

 

Рис 42. Устройство турбомолекулярного насоса.

а — общий вид. б — схема расположения прорезей в роторных и статорных дисках, 1 — корпус. 2 — статорные диски. 3 — роторные диски

 


Газ из откачиваемого объекта поступает во входной патрубок, находящийся в центре насоса, и, сталкиваясь с быстродвижущейся поверхностью косых прорезей роторных дисков, начинает перемещаться преимущественно в направлении от середины к краям насоса. Каждая пара роторного и статорного дисков обеспечивает определенный коэффициент сжатия газа, а так как количество этих пар велико, то на выходе суммарный коэффициент сжатия газа достигает больших значений.

Турбомолекулярные насосы применяют как средства высоховакуумной и сверхвысоковакуумной откачки в установках с длительным циклом работы- установки имитации космического пространства, ускорители элементарных частиц, а также для откачки ЭВП с длительным циклом обезгаживаиия.

Отечественная промышленность выпускает турбомо-лекулярные насосы двух типов: ТМН-200 и ГВН. Техническая характеристика этих насосов приведена в табл. 18.

 

 

 

К достоинствам турбомолекулярных насосов можно отнести: постоянство скорости откачивающего действия во всем диапазоне рабочих давлений; возможность получения высокого и сверхвысокого вакуума без применения ловушек; обеспечение практически безмасляной откачки во всем диапазоне рабочих давлений; малое время запуска; наличие длительного инерционного периода вращения ротора после отключения электроэнергии, что позволяет сохранить на некоторое время низкое давление в откачиваемом объекте.

Наряду с указанными достоинствами турбомолекулярным насосам присущи и некоторые недостатки: низкая температура обезгаживания корпуса (не выше 100°С); трудность изготовления насосов с высокой скоростью откачивающего действия; избирательность откачивающего действия по различным газам; сравнительно большое время восстановления первоначального давления при кратковременном увеличении газовой нагрузки.
 

 

 

 

 

 

содержание   ..  60  61  62  63  64  65  66  67  68  69  70  ..