Под безмасляной откачкой подразумевают откачку с помощью средств, не
имеющих органических рабочих жидкостей. В соответствии с классификацией
насосов (см. табл. 9) к без масляным насосам относятся насосы
поверхностного действия и их возможные комбинации, а также некоторые
насосы объемного действия: поршневые насосы с жидкостным (ртутным)
поршнем; водоструйный, пароводяной и парортутный эжекторные насосы,
Диффузионные парортутные насосы, имеющие в качестве
средств предварительного разрежения один из видов
без-масляных эжекторных насосов.
Широкое внедрение средств безмаслянои откачки обусловлено возросшими
требованиями к ЭВП по долговечности и уровню шумов, а также жесткими
требованиями к составу остаточной атмосферы в ряде установок для
проведения физических исследований, в электронных микроскопах,
масс-спектрометрах и т. п.
Кроме чисто масляных и безмасляных средств откачки существует группа
насосов, которая при правильной эксплуатации обеспечивает настолько
малые потоки проникновения паров органических рабочих жидкостей в
откачиваемый объект, что они не оказывают заметного влияния на
работоспособность ЭВП или экспериментальных устройств.
К таким средствам откачки, называемым обычно практически безмасляными,
можно отнести: турбомолекулярные насосы; диффузионные паромасляные
насосы с многоярусными прогреваемыми оптически непрозрачными ловушками.