содержание   ..  40  41  42  43  44  45  46  47  48  49  50  ..

МАСС-СПЕКТРОМЕТРЫ

В вакуумной технике масс-спектрометры предназначены для измерения парциальных давлений, т. е. качественного и количественного анализов остаточных газов в высоковакуумных системах, исследования кинетнки процессов газовыделения из различных веществ, исследования влияния остаточных газов на работу электровакуумных приборов, обнаружения течей в вакуумных системах, изучения процессов сорбции, десорбции, диффузии, поверхностных реакций (что особенно важно для контроля процесса напыления тонких пленок), исследования селективности откачки при получении сверхвысокого вакуума и т. п.

Принцип действия приборов основан на разделении газов по их массам с последующим измерением ионного тока по данному газу на коллекторе.

содержание   ..  40  41  42  43  44  45  46  47  48  49  50  ..